[发明专利]一种基底材料表面的Sm-Co基永磁薄膜及其制备方法有效
申请号: | 201210200142.3 | 申请日: | 2012-06-14 |
公开(公告)号: | CN102800457A | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 张昀;张健;刘平;闫阿儒 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | H01F10/16 | 分类号: | H01F10/16;H01F41/18 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 陈英俊 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种基底材料表面的Sm-Co基永磁薄膜,所述的基底材料与Sm-Co基永磁薄膜之间是缓冲层,所述的Sm-Co基永磁薄膜厚度为0.1um~100um,所述的缓冲层是钨薄膜层,其厚度为10nm~200nm。与现有技术中所采用的铬作为缓冲层的Sm-Co基永磁薄膜相比,本发明提供的具有钨缓冲层的Sm-Co基永磁薄膜具有薄膜质量好,与基底材料表面的附着力强,经过800℃高温退火处理后,薄膜不脱落,具有良好的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 基底 材料 表面 sm co 永磁 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种基底材料表面的Sm‑Co基永磁薄膜,所述的基底材料与Sm‑Co基永磁薄膜之间是缓冲层,其特征是:所述的Sm‑Co基永磁薄膜厚度为0.1um~100um,所述的缓冲层是钨薄膜层,其厚度为10nm~200nm。
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