[发明专利]一种垂直结构的LED芯片无效
申请号: | 201210200435.1 | 申请日: | 2012-06-15 |
公开(公告)号: | CN102694092A | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 张昊翔;封飞飞;万远涛;金豫浙;李东昇;江忠永 | 申请(专利权)人: | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种垂直结构的LED芯片,包括:外延层;形成于所述外延层的表面上的第一基板以及形成于所述第一基板上的第二基板。通过调整第一基板和第二基板的膨胀系数可以有效的调整外延层所受的应力,使得外延层在衬底剥离步骤中应力能够得到适当的释放,减小因此产生的外延层龟裂现象,从而提高衬底剥离良率,减小芯片漏电,提高芯片可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 垂直 结构 led 芯片 | ||
【主权项】:
一种垂直结构的LED芯片,包括:外延层;形成于所述外延层正面上的第一基板,用于缓冲所述外延层和第二基板之间的应力;以及形成于所述第一基板上的第二基板,用于支撑所述垂直结构的LED芯片。
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