[发明专利]一种阵列基板、液晶显示装置和阵列基板的制作方法有效
| 申请号： | 201210201027.8 | 申请日： | 2012-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN102736333A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 寇浩 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1343 | 分类号： | G02F1/1343;G02F1/1362;H01L29/786;H01L29/45;H01L29/49;H01L21/77 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛;田夏 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种阵列基板、液晶显示装置和阵列基板的制作方法。所述TFT-LCD的阵列基板包括金属电极，所述金属电极包括导电层，所述导电层的一面设有VOxSiy材质的粘贴层，另一面设有阻隔层。本发明的金属电极在的一面通过金属钒跟阵列基板中的含硅材料（如玻璃、n+a-Si层），钒跟含硅材料产生化学反应，生成VOxSiy材质的粘贴层，可以让金属电极牢固地固定在玻璃基材上，同时VOxSiy接触电阻低，使金属层具有更好的导电性能。本发明还公开了一种制作方法，只须将铜-钒合金靶材溅射到阵列基板的含硅材料上，在一定的真空、温度条件下就能形成具有VOxSiy材质粘贴层的金属电极，制作方法简单、高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 液晶 显示装置 制作方法 | ||
【主权项】：
一种TFT‑LCD的阵列基板，包括金属电极，其特征在于，所述金属电极包括导电层，所述导电层的一面设有VOxSiy材质的粘贴层，另一面设有阻隔层。
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