[发明专利]一种制备二维纳米薄膜的设备有效
| 申请号： | 201210201571.2 | 申请日： | 2012-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN102732834A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 徐明生;陈红征;王秋来;黄文符 | 申请（专利权）人： | 徐明生;陈红征;王秋来;黄文符 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44;C23C14/56;C23C16/54;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 刘晓春 |
| 地址： | 114002 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备二维纳米薄膜的设备，包括物理气相沉积腔室、进料腔室、化学气相沉积腔室和样品传递装置。腔室之间设有阀门，样品通过样品传递装置可以在各腔室之间传递；化学气相沉积腔室设有加热装置、气体连接口以及样品升降装置；物理气相沉积腔室设有物理气相沉积系统、样品升降装置、气体连接口；进料腔室设有样品处理装置；腔室还设有抽真空装置以及样品旋转装置。本设备结构简单、工作可靠，利用本设备，可以采用不同的技术方法可大面积地制备均匀、高性能的石墨烯、金属硫族化合物、硅烯、锗烯或氮化硼等二维纳米薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 二维 纳米 薄膜 设备 | ||
【主权项】：
一种制备二维纳米薄膜的设备，包括化学气相沉积腔室(2)，进料腔室(4)，物理气相沉积腔室(6)和样品传递装置(1)和(8) ，其特征在于：所述的进料腔室、化学气相沉积腔室、物理气相沉积腔室各腔室之间分别设有阀门，进料腔室设有与大气相通的阀门；所述的物理气相沉积腔室(6)设有一个或二个以上的气体连接口；所述的物理气相沉积腔室(6)设有物理气相沉积系统；所述的化学气相沉积腔室(2)设有加热装置(11)；所述的化学气相沉积腔室(2)设有一个或二个以上的气体连接口；所述的进料腔室(4)、物理气相沉积腔室(6)和化学气相沉积腔室(2)均设有样品升降装置；所述的进料腔室(4)、物理气相沉积腔室(6)和化学气相沉积腔室(2)中的至少一个腔室设有抽真空装置。
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