[发明专利]p型氧化锌材料的制备方法有效
| 申请号： | 201210201820.8 | 申请日： | 2012-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN102719893A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 黄丰;丁凯;林文文;张继业;郑清洪;黄嘉魁;黄瑾;湛智兵;陈达贵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | C30B31/00 | 分类号： | C30B31/00;C23C14/58;H01L21/477 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350002 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供p型氧化锌材料的制备方法。该方法包括如下步骤：强氧化性气氛下制备含高浓度锌空位的高质量单晶或薄膜；通过还原气氛退火将锌空位通过扩散填充以一价原子，同时达到生成和稳定浅能级受主、完备晶格以提高迁移率的两个目的；通过再次弱氧化气氛退火，实现富余间隙一价原子的脱除，以消除材料中的不稳定浅施主。该方法能够获得高空穴浓度和高稳定性的p型氧化锌材料。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
p型氧化锌材料的制备方法，包括如下步骤：（1）在氧化性气氛获得含高浓度锌空位的前体氧化锌材料；（2）在还原性气氛下利用一价元素填充前体材料中的锌空位；（3）在弱氧化性气氛去除晶格中富余的间隙型掺杂原子。
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