[发明专利]一种改善硅外延片翘曲度的方法无效
| 申请号： | 201210202949.0 | 申请日： | 2012-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN102709158A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 赵丽霞;高国智 | 申请（专利权）人： | 河北普兴电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/324;C30B33/02 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 050200 河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改善硅外延片翘曲度的方法，属于硅外延片技术领域。其包括下述步骤：（1）准备硅外延片：制取新的硅外延片或取需修复的硅外延片；（2）退火：将准备的硅外延片放入反应室，在650-1050℃下保温10-30min；用10-15分钟降温至≤300℃，将硅外延片取出反应室。本发明的方法可以使翘曲度(WARP)不合格的硅外延片进行退火处理后成为合格品，而且可与外延工艺兼容，有效的改善硅外延片的翘曲度，大大提高了成品的精度及合格率，可变废为宝，成本低，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 外延 曲度 方法 | ||
【主权项】：
一种改善硅外延片翘曲度的方法，其特征在于包括下述步骤：（1）准备硅外延片：制取新的硅外延片或取需修复的硅外延片；（2）退火：将准备的硅外延片放入反应室，在650‑1050℃下退火10‑30min；用10‑15分钟降温至≤300℃，将硅外延片取出反应室。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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