[发明专利]一种钛硅合金靶材的制造方法无效
| 申请号： | 201210203747.8 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102699325A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 马步洋;王彬 | 申请（专利权）人： | 江苏美特林科特殊合金有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/14 | 分类号： | B22F3/14;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211153 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钛硅合金靶材的制造方法，该方法以硅粉、钛粉为原料，按一定的比例机械混合，装入石墨模具中，通过真空感应热压烧结，制出不同成分和不同尺寸规格的钛硅合金靶材。本发明提供的方法制备的钛硅合金靶材具有晶粒细小，成分均匀，无偏析，成本低，高密实度，适合规模化生产等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种钛硅合金靶材的制造方法，其特征在于包括以下步骤：1）将硅粉、钛粉置于混粉罐进行机械混合，得到混合粉末，混料时间为1‑16小时；2）称取步骤1）中所得到的混合粉末，装入石墨模具中，然后将石墨模具放入热压炉中，关闭炉门，先在室温条件进行预压，预压压力在5‑20MPa；3）然后真空系统对炉内抽真空，当炉内真空度达到1x10‑2Pa时，铜感应线圈通电加热模具、混合粉末和压头到465℃‑765℃，保温1‑5小时，而后利用真空感应和电阻的双重加热使温度迅速升温至800‑1300℃，升温速率50‑100℃/min，当达到烧结温度时上下压头开始加压，压力控制在10‑80MPa，保温2‑6小时，然后停止加热，卸去压力；4）待冷却脱模后，对成型的钛硅靶坯进行机械和电加工，加工完毕后进行清洗、烘干、包装工序，得到最终所需钛硅靶材。
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