[发明专利]单晶炉加热系统无效
| 申请号： | 201210205336.2 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102758254A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 林游辉 | 申请（专利权）人： | 合肥景坤新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/14 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 方峥 |
| 地址： | 231600 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉加热系统，包括置于炉体内上加热器、下加热器，上加热器、下加热器分别正对于坩埚的上部、下部，上加热器、下加热器分别连接有电源系统，所述的上加热器、下加热器分别呈方波状，上加热器的下端与下加热器的上端之间具有间隙，且上加热器大于下加热器的竖向高度，所述的上加热器下端与下加热器上端的间隙中设有隔热板，隔热板伸向坩埚。采用了分段式组合加热器，双电源系统，化料时双加热器同时工作，大大缩短了熔硅时间，化料结束后降低下加热器功率，以上加热器为主加热器进行生长，使热场的底部温度下降且不影响晶体的生长，减小了传统热场顶部与底部的温差。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 加热 系统 | ||
【主权项】：
单晶炉加热系统，其特征在于：包括置于炉体内上加热器、下加热器，上加热器、下加热器分别正对于坩埚的上部、下部，上加热器、下加热器分别连接有电源系统，所述的上加热器、下加热器分别呈方波状，上加热器的下端与下加热器的上端之间具有间隙，且上加热器大于下加热器的竖向高度，所述的上加热器下端与下加热器上端的间隙中设有隔热板，隔热板伸向坩埚。
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