[发明专利]单晶炉用自控式加热系统有效

专利信息
申请号: 201210205675.0 申请日: 2012-06-20
公开(公告)号: CN102828236A 公开(公告)日: 2012-12-19
发明(设计)人: 林游辉 申请(专利权)人: 合肥景坤新能源有限公司
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14;C30B29/06
代理公司: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人: 方峥
地址: 231600 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种单晶炉用自控式加热系统,包括置于炉体内上石墨加热器、下石墨加热器,上石墨加热器、下石墨加热器分别连接有电源系统,上石墨加热器、下石墨加热器分别呈方波状,上石墨加热器、下石墨加热器的间距内设有梳状排布的导热板,相邻的导热板之间有连接筋,上石墨加热器的下端与下石墨加热器的上端之间有间隙,上石墨加热器下端与下石墨加热器上端的间隙中设有隔热板,隔热板伸向坩埚;采用了分段式组合石墨加热器,双电源系统,化料时双石墨加热器同时工作,大大缩短了熔硅时间,化料结束后降低下石墨加热器功率,以上石墨加热器为主石墨加热器进行生长,使热场的底部温度下降且不影响晶体的生长,减小了传统热场顶部与底部的温差。
搜索关键词: 单晶炉用 自控 加热 系统
【主权项】:
单晶炉用自控式加热系统,其特征在于:包括置于炉体内上石墨加热器、下石墨加热器,上石墨加热器、下石墨加热器分别正对于坩埚的上部、下部,上石墨加热器、下石墨加热器分别连接有电源系统,所述的上石墨加热器、下石墨加热器分别呈方波状,上石墨加热器、下石墨加热器的间距内设有梳状排布的导热板,相邻的导流板之间有连接筋,上石墨加热器的下端与下石墨加热器的上端之间具有间隙,且上石墨加热器大于下石墨加热器的竖向高度,所述的上石墨加热器下端与下石墨加热器上端的间隙中设有隔热板,隔热板伸向坩埚;坩埚的上部、下部侧壁上分别设有温度传感器,温度传感器分别连接到单片机的输入端,单片机的输出端与上石墨加热器、下石墨加热器的电源系统相连接。
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