[发明专利]靶材组件的制作方法有效
申请号: | 201210206678.6 | 申请日: | 2012-06-18 |
公开(公告)号: | CN103506725A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;何梅 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | B23K1/00 | 分类号: | B23K1/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种靶材组件的制作方法,包括:提供镍靶材坯料和背板,所述背板具有容纳镍靶材坯料的凹槽;利用钎料在所述镍靶材坯料的待焊接面形成第一钎料层;利用钎料在所述背板的待焊接面形成第二钎料层;将所述镍靶材坯料放入所述背板凹槽,利用焊接工艺使第一钎料层和第二钎料层结合,以形成由镍靶材坯料和背板构成的靶材组件。本发明能够使超高纯镍靶材与背板进行可靠性结合,焊接效率高并且焊接缺陷率小,满足长期稳定生产、使用靶材的需要。 | ||
搜索关键词: | 组件 制作方法 | ||
【主权项】:
一种靶材组件的制作方法,其特征在于,包括:提供镍靶材坯料和背板,所述背板具有容纳镍靶材坯料的凹槽;利用钎料在所述镍靶材坯料的待焊接面形成第一钎料层;利用钎料在所述背板的待焊接面形成第二钎料层;将所述镍靶材坯料放入所述背板凹槽,利用焊接工艺使第一钎料层和第二钎料层结合,以形成由镍靶材坯料和背板构成的靶材组件。
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