[发明专利]靶材组件的制作方法有效

专利信息
申请号: 201210206678.6 申请日: 2012-06-18
公开(公告)号: CN103506725A 公开(公告)日: 2014-01-15
发明(设计)人: 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;何梅 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料有限公司
主分类号: B23K1/00 分类号: B23K1/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 骆苏华
地址: 315400 浙江省宁波市余姚*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种靶材组件的制作方法,包括:提供镍靶材坯料和背板,所述背板具有容纳镍靶材坯料的凹槽;利用钎料在所述镍靶材坯料的待焊接面形成第一钎料层;利用钎料在所述背板的待焊接面形成第二钎料层;将所述镍靶材坯料放入所述背板凹槽,利用焊接工艺使第一钎料层和第二钎料层结合,以形成由镍靶材坯料和背板构成的靶材组件。本发明能够使超高纯镍靶材与背板进行可靠性结合,焊接效率高并且焊接缺陷率小,满足长期稳定生产、使用靶材的需要。
搜索关键词: 组件 制作方法
【主权项】:
一种靶材组件的制作方法,其特征在于,包括:提供镍靶材坯料和背板,所述背板具有容纳镍靶材坯料的凹槽;利用钎料在所述镍靶材坯料的待焊接面形成第一钎料层;利用钎料在所述背板的待焊接面形成第二钎料层;将所述镍靶材坯料放入所述背板凹槽,利用焊接工艺使第一钎料层和第二钎料层结合,以形成由镍靶材坯料和背板构成的靶材组件。
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