[发明专利]光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置

摘要

光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置，属于光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻投影物镜光学元件X、Y、θZ三自由度高精度调整问题，提出一种基于3-RRR平面机构的光学元件柔性微动调整装置，本发明光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置，包括镜框、三个驱动器和两个电容传感器；三个驱动器和两个电容传感器分别固定在镜框上；所述镜框为一体化结构由镜框内环、镜框外环和三个运动支链组成；所述每个运动支链均由三个柔性铰链、第一连杆和第二连杆组成，所述运动支链的外侧与镜框外环相连，运动支链的内侧与镜框内环相连，三个运动支链沿周向间隔120°均匀分布；该装置适用于深紫外投影物镜中光学透镜的微动调整。

主权项

光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置，该装置为一体化结构，包括镜框（2）、三个驱动器（3）和两个电容传感器（4）；其特征在于，所述三个驱动器（3）和两个电容传感器（4）分别固定在镜框（2）上；所述镜框（2）为一体化结构，由镜框内环（2‑1）、镜框外环（2‑2）和三个运动支链（2‑3）组成；所述每个运动支链（2‑3）均由三个柔性铰链（2‑3‑1）、第一连杆（2‑3‑2）和第二连杆（2‑3‑3）组成，所述运动支链（2‑3）的外侧与镜框外环（2‑2）相连，运动支链（2‑3）的内侧与镜框内环（2‑1）相连，三个运动支链（2‑3）沿周向间隔120°均匀分布；所述驱动器（3）安装在镜框外环（2‑2）上，驱动器（3）的输入位移作用在第一连杆（2‑3‑2）上，其方向垂直于第一连杆（2‑3‑2）的竖直侧面；两个电容传感器（4）均固定在镜框外环（2‑2）的内侧，并且两个电容传感器间的周向间隔为90°。