[发明专利]测试探针装置

摘要

本发明提供了一种测试探针装置，其包括主体座、传感器调整座、位移传感器、支架固定座、弹性支架、测试针及调节件。位移传感器安装在传感器调整座上，传感器调整座安装在主体座上，通过调节件可以调节位移传感器前后方向的位置。测试针安装在弹性支架上，弹性支架固定在支架固定座上，支架固定座再与主体座相连接。对该装置进行阻值校正和接触力大小与测试针后退位移量之间相互关系测试，获取在合适的接触电阻下的位移量及测试针接触力与位移量之间的关系。弹性支架具有遮光块，通过遮光块遮挡位移传感器对射光的光量来测试测试针的位移量的大小，进而可以控制合适的接触电阻和接触力，从而保证了测试精度及测试面板表面质量。

主权项

一种测试探针装置，用于飞针测试机，其特征在于：所述测试探针装置包括主体座、安装于所述主体座一端的支架固定座、一端固定于所述支架固定座上的弹性支架、固定于所述弹性支架的另一端的测试针、在所述测试针的运动方向上移动后并相对于所述主体座固定的传感器调整座、随着所述传感器调整座移动且位于所述传感器调整座与所述主体座之间的位移传感器及调整所述传感器调整座相对于所述主体座的位置的调节件，所述位移传感器于靠近所述弹性支架的一侧开设有凹口，所述位移传感器具有由所述凹口的一侧发射向所述凹口的另一侧的对射光，所述弹性支架包括伸入所述凹口内并可遮挡所述对射光的遮光块，所述弹性支架于所述测试针进行测试时产生变形，以使所述遮光块遮挡的对射光的光量的产生变化，进而测试所述测试针的位移量的变化。