[发明专利]集成压力传感器密封

摘要

本发明涉及集成压力传感器密封。本公开的一些实施例涉及用于压力感测元件的改进的封装组件。不是将压力感测元件以使它容易受到来自零星丝线、灰尘等的损坏的方式毫无遮掩地暴露于周围环境；本文公开的改进的封装组件包括盖，其帮助形成绕着压力感测元件的外壳。所述盖包括在其中布置有阻挡构件的流体流动通道。流体流动通道将压力感测元件安置为与外部环境流体连通以便可以进行压力测量，同时阻挡构件帮助保护压力感测元件免受外部环境(例如，在某种程度上的零星丝线和灰尘)影响。以这样的方式，本文公开的封装组件帮助促进比先前实施例更加精确且可靠的压力测量。

主权项

一种装置，包括：包括在其上的安装表面的封装衬底；安装到所述安装表面的压力感测元件；盖，配置为与所述封装衬底接合以形成绕着压力感测元件的封装外壳；流体流动通道，设置在所述盖中并且配置为将所述压力感测元件安置成与所述封装外壳外部的环境达到环境接触，从而允许流体从外部环境进入和离开所述封装衬底；以及阻挡构件，布置在所述流体流动通道中并且配置为阻止在来自外部环境的物体与所述压力感测元件之间的直接物理接触。