[发明专利]一种制备石墨烯器件的方法

摘要

本发明公开了一种制备石墨烯器件的方法。该方法在对石墨烯材料进行光学光刻后，通过氯苯和除胶剂AR 300-70化学处理消除光刻工艺过程对石墨烯性能的影响，并可以对石墨烯的狄拉克点和沟道电阻进行调控。本发明工艺简单，可以批量生产石墨烯器件，大大提高了加工效率并且不损害石墨烯的优异性能。

主权项

一种制备石墨烯器件的方法，所述石墨烯器件包括电极和石墨烯有源区，制备方法包括以下步骤：1)在绝缘基底上生长石墨烯，或者在金属上生长石墨烯后再将石墨烯转移到绝缘基底上；2)通过光学光刻在绝缘基底上定义器件电极的图形，然后沉积电极材料，并通过剥离的方法形成电极的形状；3)通过光学光刻在石墨烯上定义有源区的形状，刻蚀形成石墨烯有源区的形状；4)将步骤3)得到的器件用氯苯浸泡处理；5)将器件从氯苯中取出，用除胶剂AR 300‑70浸泡处理，得到所需石墨烯器件。