[发明专利]利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统有效
| 申请号： | 201210213835.6 | 申请日： | 2012-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN103512864A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王林梓;刘涛;李国光 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/59 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，包括光源、第一分光元件、准直单元及探测单元；所述准直单元，将光源产生的光会聚成平行光；所述第一分光元件使通过所述准直单元的平行光的一部分垂直入射至样品上，以及使样品反射的光的一部分入射至所述探测单元；所述探测单元，测量样品的透射光谱及反射光谱。本发明提供的光学量测系统，采用无色差的平行光垂直入射，避免了会聚光束测量时，入射角存在一定分布范围造成的误差，以及测量较厚衬底时，斜入射光束在厚衬底内多次反射容易引起的系统误差，并解决了垂直入射时入射角度不易校准的问题，可在宽光谱范围内实现厚衬底的透射率和反射率测量，提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 平行 测量 衬底 反射率 透射率 光学 系统 | ||
【主权项】：
一种利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，其特征在于，包括：光源、第一分光元件、准直单元及探测单元；所述准直单元，将光源产生的光会聚成平行光；所述平行光通过所述第一分光元件垂直入射至样品上；经所述样品透射的光入射至所述探测单元；经所述样品反射的光通过第一分光元件后入射至所述探测单元；所述探测单元，测量入射光谱及反射光谱。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司，未经中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210213835.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
