[发明专利]介质材料二次电子发射系数测量系统及测量方法

摘要

本发明公开了一种介质材料二次电子发射系数的测量系统及测量方法。该测量系统包括法拉第杯、脉冲电子枪，法拉第杯外的脉冲电子枪产生的入射电子束穿过筒上的电子入射口入射到样品上，样品背电极和地线之间电连接有自动调压电路，使得样品表面电位相对于电子枪之间的电位差保持恒定，该调压电路的调压幅度由反馈控制电路实时控制，从而保证样品的充电电位得到实时补偿，样品与调压电路的调压电源之间以及法拉第杯分别连有电流探头测量净收集电流和二次电子电流。本发明的测量系统和方法简单，不需要离子源等额外消电设备和相关实验环节且测量效率高，可连续测量，无需在每个辐照脉冲后都停止以实施消电处理和表面电位测量等工作，且测量误差较小。

主权项

一种介质材料二次电子发射系数的测量系统，包括法拉第杯、脉冲电子枪，其中法拉第杯上设置有电子入射口，法拉第杯外的脉冲电子枪产生不同能量的入射电子并穿过所述电子入射口入射到筒内的待测量介质材料样品上，待测量介质材料样品背电极和地线之间电连接有自动调压电路以对样品表面电位进行实时补偿，使得样品表面电位相对于电子枪之间的电位差保持恒定，该调压电路的调压幅度由反馈控制电路实时控制，反馈控制信号通过采集样品背电极的接地电流信号，再根据充电电位与电流的关系通过积分电路得到一个调压控制信号，对调压幅度进行实时控制，从而保证样品的充电电位得到实时补偿，样品与自动调压电路的调压电源之间连接有电流探头以测量样品的净收集电流，法拉第杯也电连接有电流探头以测量法拉第杯的二次电子电流。