[发明专利]一种利用气缸伸缩的推杆式晶圆夹持装置

摘要

一种利用气缸伸缩的推杆式晶圆夹持装置，主要用于半导体晶圆加工设备中。该装置含有一个薄片V型托盘，托盘前端的两侧分别设有一个固定元件，托盘上设有四个凸起支撑元件，四个凸起支撑元件位于与晶圆同心的圆周上，且对角的两个凸起支撑元件的连线通过晶圆圆心；托盘末端安装一个气动装置，该气动装置与推杆的一端连接，推杆的另一端与弹性元件连接，弹性元件两侧对称布置有固定件，每个固定件上设有一个可移动夹子。该装置使晶圆夹在固定元件与移动夹子之间，限制了晶圆水平与垂直方向的自由度。本发明可实现不同直径晶圆的传输，解决了传输晶圆尺寸单一的问题，提高了装置的柔性，避免了晶圆传输过程中由于移动距离的偏差引起对晶圆的破坏。

主权项

一种利用气缸伸缩的推杆式晶圆夹持装置，其特征在于：该夹持装置含有一个薄片V型托盘（101），V型托盘前端的两侧分别设有一个固定元件（102），该固定元件呈上下粗中间细的鼓形，其母线由倾斜的直线段(102a)和圆弧段(102b)光滑过渡而成；在薄片V型托盘上设有四个凸起支撑元件(103)，该四个凸起支撑元件(103)位于与晶圆同心的圆周上，且对角的两个凸起支撑元件(103)的连线通过晶圆圆心；薄片V型托盘（101）末端安装有一个气动装置（200），该气动装置包括气缸(202)、推杆(201)和限位块(203)；气缸（202）固定在薄片V型托盘（101）上，限位块(203)固定在气缸(202)上，用于限定推杆的移动距离；推杆(201)一端与弹性元件(108)连接，另一端与气动装置连接，使推杆(201)带动弹性元件(108)沿水平直线移动；弹性元件（108）两侧对称布置有固定件（106）；每个固定件(106)上设有一个与固定元件(102)形状相同的可移动夹子（105）。