[发明专利]一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法无效
| 申请号： | 201210225320.8 | 申请日： | 2012-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN102735753A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 李冬梅;陈鑫;梁圣法;詹爽;谢常青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036;G01N29/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法，包括：选择一压电基片，在该压电基片表面涂敷光刻胶，对该压电基片表面进行光刻，露出该压电基片表面的敏感膜区域；采用MPS溶液和PAH溶液对覆盖有光刻胶并露出敏感膜区域的该压电基片进行处理；将处理后的该压电基片依次浸入PSS、PPy、PSS和PANI溶液中，在该压电基片上生长一层PPy/PSS/PANI复合敏感膜，重复该浸入步骤并控制重复次数，在该压电基片上得到不同层数不同厚度的PPy/PSS/PANI复合敏感膜；以及去除光刻胶并封装。本发明实现了在室温下对NH3和NO2气体的检测，且灵敏度高，成本低，简单实用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 气体 传感器 多层 敏感 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法，用于检测NH3和NO2气体，其特征在于，包括：选择一压电基片，在该压电基片表面涂敷光刻胶，对该压电基片表面进行光刻，露出该压电基片表面的敏感膜区域；采用MPS溶液和PAH溶液对覆盖有光刻胶并露出敏感膜区域的该压电基片进行处理；将处理后的该压电基片依次浸入PSS、PPy、PSS和PANI溶液中，在该压电基片上生长一层PPy/PSS/PANI复合敏感膜，重复该浸入步骤并控制重复次数，在该压电基片上得到不同层数不同厚度的PPy/PSS/PANI复合敏感膜；以及去除该压电基片表面的光刻胶及光刻胶上生长的PPy/PSS/PANI复合敏感膜，并封装。
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