[发明专利]新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场无效
| 申请号： | 201210225961.3 | 申请日： | 2012-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN103510154A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 韩建超;沈杨宇 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型单晶炉热场，包括导流筒；其特征在于，所述导流筒表面设置有碳化硅涂层。本发明中的新型单晶炉热场，由于采用设置碳化硅涂层的导流筒，可降低硅单晶棒生产能耗，可降低5%以上。使用本发明中的新型单晶炉热场，拉制的N型<100>轻掺硅单晶的OISF可降低到100个/cm2以下。本发明中的新型单晶炉热场，能有效改善硅单晶棒中的Fe含量，平均值为1.80E+10atoms/cm3，最大值6.91E+10atoms/cm3。扩散长度达到450.2μm。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 单晶炉热场 拉制 轻掺硅单晶棒 | ||
【主权项】：
新型单晶炉热场，包括导流筒；其特征在于，所述导流筒表面设置有碳化硅涂层。
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