[发明专利]一种椭圆偏振光谱仪中单色仪的校准方法

摘要

本发明涉及椭圆偏振光谱仪技术领域，特别涉及一种椭圆偏振光谱仪中单色仪的校准方法：将检偏器和标准石英波片放入光路中，确定好位置；撤出检偏器，设定起偏方向，扫描需校准波段的椭偏光谱，得到标准石英波片在P、S两方向上位相差色散曲线，与在相同条件下的P、S两方向上位相差的理论色散曲线进行比较，将实际波长校准至理论波长，实现对椭圆偏振光谱仪中单色仪波长的校准。本发明的校准方法，利用的是标准石英波片透射光谱的位相差色散原理，该校准方法理论简洁、清晰，设备要求简单、容易实现，校准速度快、精度高，与采用特定谱线的灯组光源校准方法相比，该校准方法降低了校准的操作难度，并实现了连续波长的校准。

主权项

一种椭圆偏振光谱仪中单色仪的校准方法，其特征是包括以下步骤：（1）将待校准的椭圆偏振光谱仪的起偏臂和检偏臂调至水平透射模式；（2）旋转起偏臂中的起偏器，将氙灯出射光调为P方向振动的线偏光，在起偏臂和检偏臂之间放入检偏器，旋转检偏器至消光；（3）将标准石英波片放入起偏臂和检偏器之间，使入射光线垂直波片表面，旋转标准石英波片使光轴沿水平方向，再次消光；（4）旋转起偏臂中的起偏器，将出射线偏光振动方向调至与P方向成45度角方向；（5）撤出检偏器，扫描需校准波段的椭偏光谱，得到标准石英波片在P、S两方向上位相差色散曲线；（6）将上述步骤（5）得到的P、S两方向上位相差色散曲线与所使用的标准石英波片在相同条件下的P、S两方向上位相差的理论色散曲线进行比较，将实际波长校准至理论波长，实现对椭圆偏振光谱仪中单色仪波长的校准。