[发明专利]光罩盒的光罩卡止具

摘要

本发明的目的在于提供一种光罩盒的光罩卡止具，该光罩盒的光罩卡止具是用于保存或搬运光罩基板的盒内的光罩卡止具，其可不接触光罩面而牢固地安置在盒内，且可防止光罩的破损或由偏移引起产生静电。本发明的光罩盒的光罩卡止具是包含混入有碳的树脂者，其设置在光罩盒的内表面的四角的各角部，从卡止具基体经由弯曲臂而具有枝部，在枝部具有上表面方向的突起部及设置在该突起部的一面的倾斜面，通过光罩的棱线以该倾斜面将光罩载置在枝部上，且该弯曲臂朝下方向挠曲而以弹力保持光罩。

主权项

一种光罩盒的光罩卡止具，其特征在于：其是包含至少混入有碳且具有10的3次方至10次方Ω左右的导电体积电阻率的树脂的光罩盒的光罩卡止具(4)；且该卡止具(4)包含在光罩盒的内表面的四角的各角部方向上载置应收纳的光罩的四角的卡止具(4)，该卡止具(4)从其卡止具基体(40)经由弯曲臂(41)而具有枝部(42)，在该枝部(42)具有上表面方向的突起部(43)与设置在该突起部(43)的一面的倾斜面(44)，通过以倾斜面(44)与载置的光罩的棱线接触而将光罩载置在枝部(42)上，通过该弯曲臂，朝下方向挠曲而以弹力保持光罩。