[发明专利]非粘合溅射结构以及形成用于溅射的结构的方法在审
| 申请号： | 201210227849.3 | 申请日： | 2012-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN102851643A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 朴京一;全勤益;金相秀;李允龙 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社;YMC株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了非粘合溅射结构以及形成用于溅射的结构的方法。该非粘合溅射结构包括具有板状的溅射靶和具有板状的背板。背板面对溅射靶，并且溅射靶和背板的面对表面彼此接触。背板包括：主体，具有纵轴；以及冷却构件，冷却材料通过冷却构件在主体的实质上平行于纵轴的纵向方向上流动。冷却材料将由溅射而从溅射靶产生的热传导到背板的外部。该非粘合型溅射结构还包括多个非粘合紧固构件，该多个非粘合紧固构件保持背板和溅射靶的面对表面彼此接触。非粘合紧固构件延伸穿过背板的厚度且对应于背板的不包括冷却构件的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 粘合 溅射 结构 以及 形成 用于 方法 | ||
【主权项】：
一种非粘合溅射结构，包括：溅射靶，具有板状且包括靶材料；背板，具有板状，其中所述背板面对所述溅射靶，并且所述溅射靶和所述背板的面对表面彼此接触，所述背板包括：主体，具有纵轴；以及冷却构件，冷却材料通过该冷却构件在所述主体的实质上平行于所述纵轴的纵向方向上流动，其中所述冷却材料将由溅射而从所述溅射靶产生的热传导到所述背板的外部；以及多个非粘合紧固构件，保持所述背板和所述溅射靶的面对表面彼此接触，其中所述非粘合紧固构件延伸穿过所述背板的厚度且对应于所述背板的不包括所述冷却构件的区域。
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