[发明专利]溅镀机无效
| 申请号： | 201210229052.7 | 申请日： | 2012-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN102747331A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 黄宇庆 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;李岩 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅镀机，该溅镀机适于承载一玻璃基板以对玻璃基板进行溅镀制程。此溅镀机包括一溅镀腔室、一阴极、一基板载台以及多个固定结构。溅镀腔室具有一开口。阴极位于溅镀腔室内，并且上述的开口暴露出阴极。基板载台包括一底座以及一承载盘。底座覆盖溅镀腔室的开口。承载盘位于底座与阴极之间。承载盘具有一粗糙面，此粗糙面面向阴极，并且粗糙面的中心线平均粗糙度介于4微米至8微米之间。固定结构自粗糙面突出，用以将玻璃基板固定于粗糙面与阴极之间。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀机 | ||
【主权项】：
一种溅镀机，适于承载一玻璃基板以对该玻璃基板进行溅镀制程，其特征在于，该溅镀机包括：一溅镀腔室，具有一开口；一阴极，位于该溅镀腔室内，并且该开口曝露出该阴极；一基板载台，包括：一底座，覆盖该开口；以及一承载盘，位于该底座与该阴极之间，该承载盘具有一粗糙面，该粗糙面面向该阴极，该粗糙面的中心线平均粗糙度介于4微米至8微米之间；以及多个固定结构，自该粗糙面突出，用以将该玻璃基板固定于该粗糙面与该阴极的间。
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