[发明专利]一种二氧化钒薄膜的制备方法及其产品和应用有效
| 申请号： | 201210229768.7 | 申请日： | 2012-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN102747325A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 黄章立;陈四海 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 朱仁玲 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二氧化钒薄膜的制备方法，包括：（1）将蓝宝石作为基底并进行清洗；（2）将清洗后的基底置于离子束镀膜机中并在室温条件下执行离子束溅射工艺，在此过程中首先对镀膜机内部抽真空至低于5.0×10-6Torr，然后向其通入氩气和氧气以形成3.0×10-4~4.0×10-4Torr的工作压强，由此在基底上沉积形成二氧化钒薄膜；（3）取出沉积二氧化钒薄膜的基底并在氮气保护氛围下执行退火处理，其中退火温度为420~490℃，退火时间为120~30分钟，退火后冷却由此获得最终产品。本发明还公开了相应的产品和特定用途。通过本发明，能够在室温条件下即可获得相变性能优良、相变幅度大、薄膜颗粒大小一致，排列均匀且可靠性高的产品，而且特别适用于激光防护等方面的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 薄膜 制备 方法 及其 产品 应用 | ||
【主权项】：
一种二氧化钒薄膜的制备方法，该制备方法包括：（1）将蓝宝石作为基底并进行清洗，以去除其表面的油污、杂质颗粒及氧化膜；（2）将清洗后的蓝宝石基底置于离子束镀膜机中并在20℃±5℃的室温条件下执行离子束溅射工艺，在此过程中首先对离子束镀膜机内部抽真空至低于5.0×10‑6Torr，然后向其通入氩气和氧气以形成3.0×10‑4~4.0×10‑4Torr的工作压强，由此通过氩气电离后形成的氩离子对金属钒靶的轰击溅射出钒原子，并与所通入的氧气反应从而在蓝宝石基底上沉积形成二氧化钒薄膜；（3）从离子束镀膜机取出沉积二氧化钒薄膜的蓝宝石基底，并在氮气保护氛围下执行退火处理，其中退火温度为420℃~490℃，退火时间为120~30分钟，退火后冷却由此获得最终产品。
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