[发明专利]1,3,5-三（4-N,N’-二烷基苯胺）苯类有机化合物及其合成方法

摘要

本发明涉及一种可利用水作为显影液溶解并除去的小分子光刻胶化合物，特别涉及一种结构为1,3,5-三（4-N,N’-二烷基苯胺）苯类有机化合物及其合成方法。本发明以N,N’-二烷基苯胺和1,3,5-三溴苯为原料，将N,N’-二烷基苯胺4-位溴化制得产物4-溴-N,N’-二烷基苯胺，4-溴-N,N’-二烷基苯胺在溴原子位置硼酸化，制得产物4-硼酸-N,N’-二烷基苯胺与1,3,5-三溴苯反应生成如下结构的本发明的有机化合物。本发明的有机化合物在光致产酸剂所产强酸作用下，实现了由疏水性向亲水性的转变，可利用水作为显影液将其溶解并除去，本发明可避免使用其它碱性显影液对环境的污染，有利于降低成本。

主权项

1.一种1,3,5-三（4-N,N’-二烷基苯胺）苯类有机化合物，其特征是：所述的1,3,5-三（4-N,N’-二烷基苯胺）苯类有机化合物具有以下通式结构：其中，R是C₁-C₂的烷基。