[发明专利]LED外延片及其制作方法无效
| 申请号： | 201210232526.3 | 申请日： | 2012-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN102723416A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 高耀辉;张昊翔;封飞飞;金豫浙;万远涛;李东昇;江忠永 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;H01L33/10;H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种LED外延片及其制作方法，该LED外延片包括：衬底；图形层，所述图形层具有纳米凸起图形，所述纳米凸起图形之间具有空隙间隔，所述图形层设置于所述衬底上；外延层，所述外延层设置在所述图形层上。该LED外延片的制作方法包括：提供衬底；在所述衬底上制备图形层，所述图形层具有纳米凸起图形，所述纳米凸起图形之间具有空隙间隔；在所述图形层上制备外延层。本发明提供的LED外延片，可以能够提高外延层晶格质量，改善LED芯片出光效率，同时针对需要剥离的垂直结构的LED芯片，避免了使用价格昂贵的激光剥离设备，并且剥离面的质量得到保证。 | ||
| 搜索关键词： | led 外延 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种LED外延片，包括：衬底；图形层，所述图形层具有纳米凸起图形，所述纳米凸起图形之间具有空隙间隔，所述图形层设置于所述衬底上；外延层，所述外延层设置在所述图形层上。
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