[发明专利]激光加工机用氮供给装置

摘要

本发明提供一种激光加工机用氮供给装置，该装置能够谋求有效地利用储存在缓冲罐内的氮，能够谋求PSA装置、缓冲罐的小型化，其中，将利用P SA装置（12）生成的氮利用第1加压机（13）升压并储存于缓冲罐（14）内，在缓冲罐内的压力较高时，自第1氮供给路径（15）向激光加工机供给氮，在缓冲罐内的压力较低时，向激光加工机供给利用第2氮供给路径（17）的第2加压机（19）升压后的氮。通过利用检测缓冲罐内的压力的压力开关（22）切换分别设置于各路径中的开闭阀（16）、开闭阀（18）的开闭来切换两条路径。

主权项

一种激光加工机用氮供给装置，其包括用于生成氮的氮生成部件、用于将利用该氮生成部件生成的氮升压到预先设定好的储存压力的加压机、用于储存利用该加压机升压后的氮的缓冲罐、以及用于向激光加工机供给该缓冲罐内的氮的氮供给路径，其特征在于，与上述氮供给路径并列地设有第2氮供给路径，该第2氮供给路径具有排出量多于上述加压机的第2加压机，在上述氮供给路径中设有第1开闭阀，在上述第2氮供给路径中的上述第2加压机的吸入侧设有第2开闭阀，并且，在该激光加工机用氮供给装置中设有压力开关，该压力开关检测上述缓冲罐内的压力，在检测出的压力为预先设定好的切换压力以上时，打开上述第1开闭阀并关闭上述第2开闭阀，在检测出的压力小于上述切换压力时，关闭上述第1开闭阀并打开上述第2开闭阀。