[发明专利]气液混合流体生成装置、气液混合流体生成方法、处理装置以及处理方法有效
| 申请号： | 201210234338.4 | 申请日： | 2012-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN102861521A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 广濑治道 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子株式会社 |
| 主分类号： | B01F5/00 | 分类号： | B01F5/00;B01F3/04;H01L21/304;B08B3/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能够以最低限度的压力进行送液、使气体溶解于液体的气液混合流体生成装置、气液混合流体生成方法、处理装置以及处理方法。实施方式的气液混合流体生成装置（3）具备：容器（3a）；液体供给流路（3b），与该容器（3a）内连通，用于将溶解有气体的液体向容器（3a）内供给；内压调整部（3d），能够将容器（3a）切换为密闭状态和开放状态，在从液体供给流路（3b）向容器（3a）进行送液的期间，使容器（3a）为开放状态而使容器（3a）的内压小于将液体供给流路（3b）内的液体向容器（3a）推压的压力；以及气体供给流路（3e），与容器（3a）内连通，用于向供给了液体的密闭状态的容器（3a）内的空间供给气体。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 流体 生成 装置 方法 处理 以及 | ||
【主权项】：
一种气液混合流体生成装置，其特征在于，具备：容器；液体供给流路，与上述容器内连通，用于将溶解有气体的液体向上述容器内供给；内压调整部，能够将上述容器切换为密闭状态和开放状态，在从上述液体供给流路向上述容器进行送液的期间，使上述容器为开放状态而使上述容器的内压小于将上述液体供给流路内的上述液体向上述容器推压的压力；以及气体供给流路，与上述容器内连通，用于向被供给了上述液体的密闭状态的上述容器内的空间供给气体。
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