[发明专利]等离子体反应装置和石英窗加热方法有效
| 申请号： | 201210236561.2 | 申请日： | 2012-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN103545162A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 魏晓 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体反应装置和石英窗加热方法。该等离子体反应装置，包括：腔体、承载装置、吸热层、红外加热装置和加热电源，所述腔体包括腔体壁和设置于所述腔体壁上方的石英窗，所述承载装置位于所述腔体底部，所述吸热层覆盖于所述石英窗上，所述红外加热装置位于所述石英窗上方；所述加热电源，用于向所述红外加热装置供电；所述红外加热装置，用于向所述石英窗发射红外线；所述吸热层，用于吸收所述红外线以实现对所述石英窗的加热。本发明提高了工艺结果的稳定性以及提高了等离子体反应装置的产出率。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 反应 装置 石英 加热 方法 | ||
【主权项】：
一种等离子体反应装置，其特征在于，包括：腔体、承载装置、吸热层、红外加热装置和加热电源，所述腔体包括腔体壁和设置于所述腔体壁上方的石英窗，所述承载装置位于所述腔体底部，其中：所述吸热层覆盖于所述石英窗上，所述红外加热装置位于所述石英窗上方；所述加热电源，用于向所述红外加热装置供电；所述红外加热装置，用于向所述石英窗发射红外线；所述吸热层，用于吸收所述红外线以实现对所述石英窗的加热。
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