[发明专利]一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置无效
申请号: | 201210236766.0 | 申请日: | 2012-07-10 |
公开(公告)号: | CN102760674A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 刘良玉;郭立;张宝锋;苏卫中;吕文利 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,主要由底板、连接板、升降滑块、升降导向杆、升降减速机、升降机、升降电机、水平导轨、同步轮、同步带、水平电机、水平减速机等部件组成。本发明采用推舟底板整体沿升降导向杆垂直滑动,确保不同管之间的推舟能够在同一个平面内,便于提高设备的自动化程度。本发明采用蜗轮蜗杆升降机完成升降运动,具有运动平稳、提升力大、结构紧凑等特点,实现推舟底板平稳升降,无冲击。本发明水平运动采用同步带轮+同步带的运动方式,具有运动速度快、噪音低、质量轻等特点,减小推舟底板负荷,提高设备的安全性及可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 软着陆 扩散 运动 执行 装置 | ||
【主权项】:
一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,包括水平运动部件和垂直运动部件;所述水平运动部件的结构为,包括底板,装在底板上的水平导轨;该水平导轨上装有可相对该水平导轨滑动的连接板,所述底板上装有带轮安装座,该带轮安装座内装有与一驱动装置相联的同步带轮,安装在同步带轮上的同步带与所述连接板固定连接;所述垂直运动部件的结构为,包括固定在机架上的支撑座,穿过支撑座并与之固定一体的升降导轨,套装在升降导轨上并可沿升降导轨竖向滑动的升降滑块;所述升降滑块与所述底板固定相连,所述底板与一升降机的机身固定相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所,未经中国电子科技集团公司第四十八研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201210236766.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:远程控制方法及服务器
- 下一篇:钢丝截断机构
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造