[发明专利]一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置无效

专利信息
申请号: 201210236766.0 申请日: 2012-07-10
公开(公告)号: CN102760674A 公开(公告)日: 2012-10-31
发明(设计)人: 刘良玉;郭立;张宝锋;苏卫中;吕文利 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人: 马强
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,主要由底板、连接板、升降滑块、升降导向杆、升降减速机、升降机、升降电机、水平导轨、同步轮、同步带、水平电机、水平减速机等部件组成。本发明采用推舟底板整体沿升降导向杆垂直滑动,确保不同管之间的推舟能够在同一个平面内,便于提高设备的自动化程度。本发明采用蜗轮蜗杆升降机完成升降运动,具有运动平稳、提升力大、结构紧凑等特点,实现推舟底板平稳升降,无冲击。本发明水平运动采用同步带轮+同步带的运动方式,具有运动速度快、噪音低、质量轻等特点,减小推舟底板负荷,提高设备的安全性及可靠性。
搜索关键词: 一种 用于 软着陆 扩散 运动 执行 装置
【主权项】:
一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,包括水平运动部件和垂直运动部件;所述水平运动部件的结构为,包括底板,装在底板上的水平导轨;该水平导轨上装有可相对该水平导轨滑动的连接板,所述底板上装有带轮安装座,该带轮安装座内装有与一驱动装置相联的同步带轮,安装在同步带轮上的同步带与所述连接板固定连接;所述垂直运动部件的结构为,包括固定在机架上的支撑座,穿过支撑座并与之固定一体的升降导轨,套装在升降导轨上并可沿升降导轨竖向滑动的升降滑块;所述升降滑块与所述底板固定相连,所述底板与一升降机的机身固定相连。
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