[发明专利]直拉单晶炉及用于直拉单晶炉的碳碳复合材料的加工方法

摘要

本发明公开了一种用于直拉单晶炉的碳碳复合材料的加工方法，首先利用碳纤维加工成预制体，再在化学沉积炉中将所述预制体加热至1050°C-1150°C，并通入丙烷气体，所述丙烷气体在高温下分解生成碳，所述碳沉积在所述预制体中，将致密后的所述预制体放在石墨化炉中，加热至2300°C-2800°C，并保持2-4小时后冷却形成碳碳复合材料。本发明还公开了一种直拉单晶炉，包括由所述碳碳复合材料加工而成的加热器，所述加热器的密度≥1.8g/cm3。本发明所提供的碳碳复合材料的加工方法采用化学气相沉积炉对预制体进行致密化处理取代了反复浸渍的方法，不仅过程简单，且在致密化处理过程中不会掺杂入较多的杂质，不需要进行高温纯化处理，大大简化了加工方法。

主权项

一种用于直拉单晶炉的碳碳复合材料的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：A、利用碳纤维加工成预制体；B、将所述预制体放在化学气相沉积炉中加热至1050°C‑1150°C；C、在所述化学气相沉积炉中通入丙烷气体，所述丙烷气体在高温下分解生成碳，所述碳沉积在所述预制体中，以提高所述预制体的密度；D、将致密后的所述预制体放在石墨化炉中，加热至2300°C‑2800°C，保持该温度2‑4小时后，进行冷却，形成碳碳复合材料。