[发明专利]采用三重图案化的集成电路方法

摘要

本发明提供了集成电路设计方法的一个实施例。该方法包括接收具有多个IC部件的IC设计布局。该方法包括根据IC设计布局标识出：作为第一布局的简单部件，其中第一布局不违背设计规则；以及作为第二布局的复杂部件，其中第二布局违背设计规则。该方法还包括：由第二布局生成第三布局和第四布局，其中，第三布局包括满足设计规则的复杂部件和连接部件，并且第四布局包括修整部件。本发明还提供了一种采用三重图案化的集成电路方法。

主权项

一种集成电路(IC)设计方法，包括：接收具有多个IC部件的IC设计布局；根据所述IC设计布局，标识出：作为第一布局的简单部件，其中，所述第一布局不违背设计规则，以及作为第二布局的复杂部件，其中，所述第二布局违背所述设计规则；以及由所述第二布局生成第三布局和第四布局，其中，所述第三布局包括满足所述设计规则的所述复杂部件和连接部件，并且，所述第四布局包括修整部件。