[发明专利]具有宽带特性的干涉式光学显示系统

摘要

本发明为具有宽带特性的干涉式光学显示系统，可通过并入具有低于光波长在干涉式调制器的操作光学范围内的阈值的消光系数(k)的材料在MEMS显示装置中实现宽带白色。一个实施例提供一种制造所述MEMS显示装置的方法，所述方法包含：在透明衬底(20)的至少一部分上沉积所述材料(23)，在所述材料层上沉积介电层(24)，在所述介电质上形成牺牲层，在所述牺牲层上沉积导电层(14)，以及通过移除所述牺牲层的至少一部分而形成空腔(19)。合适的材料可包含锗、具有各种组分的锗合金、经掺杂锗或含经掺杂锗的合金，且可沉积在所述透明衬底上，并入在所述透明衬底或所述介电层内。

主权项

一种装置，其包含：衬底；以及由所述衬底支持的干涉式调制器，其中所述干涉式调制器配置成反射穿过所述衬底的入射光的至少一部分，并且其中所述干涉式调制器包含：所述衬底上的可移动层，以及所述可移动层和所述衬底之间的吸收剂，其中所述吸收剂具有低于光波长在所述干涉式调制器的操作光学范围内的阈值的消光系数(k)，其中k保持大体上恒定或者随着所述光波长在所述干涉式调制器的操作光学范围内增加而减小。