[发明专利]复合式靶材及其制作方法

摘要

一种复合式靶材及其制作方法，根据废靶材的蚀刻状态而制作复合式靶材，且该废靶材是通过存在有第一磁力线分布的溅射机台对至少具有基板层与金属层的原始靶材进行溅射作用之后的产生物，通过判断在该废靶材所产生的该蚀刻状态，而决定在该原始靶材上设置具有第二磁力线分布的磁性层，又在该基板层及/或该磁性层的上方形成金属层，又通过接合层结合该基板层、磁性层与该金属层以形成该复合材式靶材，而该复合材式靶材可提供该第二磁力线分布调整该第一磁力线分布所产生的第三磁力线分布用以提高靶材的使用率(或称利用率)进而使该靶材均匀地消耗。

主权项

一种复合式靶材制作方法，其特征在于，根据废靶材的蚀刻状态而制作复合式靶材，且该废靶材是通过存在有第一磁力线分布的溅射机台对至少具有基板层与金属层的原始靶材进行溅射作用之后的产生物，其包含：判断该废靶材受到该第一磁力线分布所产生的该蚀刻状态，以决定第二磁力线分布，其中该第二磁力线分布用于调整该复合式靶材设置于该溅射机台时所承受的该第一磁力线分布；在该原始靶材的该基板层上设置对应于该第二磁力线分布的磁性层；在该磁性层与该基板层的上方设置金属层；以及在该基板层、该磁性层与该金属层之间设置接合层，以结合该基板层、该磁性层与该金属层而形成该复合式靶材；其中当该复合式靶材进行该溅射作用时，具有该第二磁力线分布的该复合式靶材将在该复合式靶材作用的该第一磁力线分布调整为第三磁力线分布。