[发明专利]照明光学装置、曝光装置以及元件制造方法

摘要

本发明提供一种照明光学装置，即便使用转向镜系统来改变形成于照明光瞳面上的光强度分布的外形形状，亦可以大致维持预期的轮廓。根据来自光源(1)的光来对被照射面(M)进行照明的本发明的照明光学装置包括：棱镜系统(6)，用以改变一对棱镜(6a、6b)在光轴(AX)上的间隔，以改变照明光瞳面(8a)中的光强度分布；以及一个或多个可动透镜(4b)，配置于棱镜系统与被照射面之间的光路中，并根据一对棱镜在光轴上的间隔的变化而可以在光轴方向上移动。

主权项

一种照明光学装置，用于曝光装置中，该曝光装置是经由投影光学系统而将规定图案曝光至基板上，并利用来自光源的光以所述规定图案进行照明，其特征在于其包括：第1光学系统，配置于所述照明光学装置的照明光路中，使从所述光源而来的光以规定形状分布于所述第1光学系统的远场的位置；第2光学系统，使分布于所述远场的位置的光，聚焦到所述照明光路的第1面；以及光学积分器，利用从所述第2光学系统而来的光形成面光源，其中，所述第2光学系统改变所述光学积分器的入射侧的面与所述第1面沿所述照明光学系统的光轴方向的间隔。