[发明专利]硅片切割废液处理方法

摘要

本发明公开了一种能够回收超细碳化硅和硅粉的硅片切割废液处理方法。该处理方法，包括以下步骤：A、对切割废液进行固液分离，将切割废液中的聚乙二醇液体与碳化硅颗粒、硅粉颗粒分离；B、对分离出来的混合有硅粉的碳化硅进行分级处理，去除目数大于1300目的超细碳化硅；C、将分离出来的混合有硅粉的超细碳化硅采用重液分离与电泳相结合的方法分离其中的硅粉与超细碳化硅。该切割废液处理方法不仅能够回收利用聚乙二醇和碳化硅，同时还能够回收利用超细碳化硅和硅粉，使其循环进入生产线中，实现资源的有效利用，减少原料的使用量，不仅可以降低硅片的成本，而且还能在很大程度降低环境污染。适合在废液处理领域推广应用。

主权项

硅片切割废液处理方法，其特征在于包括以下步骤：A、对切割废液进行固液分离，将切割废液中的聚乙二醇液体与碳化硅颗粒、硅粉颗粒分离，得到聚乙二醇液体和混合有硅粉的碳化硅固体；B、对分离出来的混合有硅粉的碳化硅进行分级处理，去除目数大于1300目的超细碳化硅；C、将分离出来的混合有硅粉的超细碳化硅采用重液分离与电泳相结合的方法分离其中的硅粉与超细碳化硅，具体方法如下：先把混合有硅粉的超细碳化硅装入熔炼设备，加热到2500℃以上，使超细碳化硅与硅粉全部融化，然后将其融化后的液体注入石英坩埚内，在重力作用下，超细碳化硅液体与硅液体在石英坩埚内分成两层，超细碳化硅液体位于石英坩埚的上层，硅液体位于石英坩埚下层，待温度冷却后，将凝固后固体从石英坩埚内取出并切开得到硅锭与超细碳化硅锭。