[发明专利]一种高效的太阳能电池制作方法

摘要

一种高效的太阳能电池制作方法，包括以下步骤：对待生产的硅片依次进行制绒、扩散、刻蚀、去PSG工艺、背面抛光、PECVD、印刷背极和背场、烧结、涂磷、激光掺杂和电镀工艺。本发明通过提高电池片正面的有效工作面积和提高电池的短路电流，有效地提高电池的转换效率。

主权项

一种高效的太阳能电池制作方法，其特征在于：包括以下步骤：a)   对待生产的硅片依次进行制绒、扩散、刻蚀和去PSG工艺，制成一次半成品；b)   将所述一次半成品的硅片置于加热的碱液中进行背面抛光处理，制成二次半成品；c)   对所述二次半成品进行PECVD工艺，制成一面附有氮化硅薄膜的三次半成品；d)   在所述三次半成品未附所述氮化硅薄膜的一面通过丝网印刷工艺印制背电场和背电极，并烧结，制成四次半成品；e)   在所述四次半成品附有所述氮化硅薄膜的一面均匀涂覆一层磷液，采用激光按工艺要求的图形在所述氮化硅薄膜上扫描，形成细栅开槽，并在该细栅开槽处形成重掺杂发射极，制成五次半成品；f)   将所述五次半成品放入包含有HF、NH3·H2O、PbCl2的混合溶液中，对该五次半成品附有所述氮化硅薄膜的一面进行活化，然后将活化后的五次半成品通过化学镀镍法在所述重掺杂发射极上沉积0.2~0.8μm厚的镍层，完成后烧结，制成六次半成品；g)   在所述六次半成品的所述重掺杂发射极的镍层上沉积20~40μm厚的铜层，然后在该铜层上沉积1~5μm厚的银层，制成电池片成品。