[发明专利]氮化钛薄膜制备方法及系统有效
| 申请号： | 201210247468.1 | 申请日： | 2012-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN103540894A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 赵强;魏学宏;刘长安 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;H01L21/31 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种氮化钛薄膜制备方法，包括以下步骤：将衬底加热；通过物理气相沉积法在所述衬底上沉积制得氮化钛薄膜；其中，将所述衬底加热到的温度高于沉积时的反应温度。上述氮化钛薄膜制备方法中，先对衬底进行高温加热，使衬底被加热至较高温度，提高了衬底的温度，再对衬底在进行沉积得到的氮化钛薄膜由于其在较高温度的衬底上沉积生成，其晶核较大，阻值较低。同时，还提供了一种氮化钛薄膜制备系统。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 薄膜 制备 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种氮化钛薄膜制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将衬底加热；通过物理气相沉积法在所述衬底上沉积制得氮化钛薄膜；其中，将所述衬底加热到的温度高于沉积时的反应温度。
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