[发明专利]一种紫外激光变倍扩束系统及激光加工设备

摘要

本发明适用于激光加工领域，提供了一种紫外激光变倍扩束系统，包括第一、二、三透镜；第一、三透镜为平凸正透镜，第二透镜为凸凹负透镜；第一、二、三透镜分别包括第一、二曲面，第三、四曲面及第五、六曲面；第一至六曲面的曲率半径为∞，-30，10，2.2，∞，-81；第一至三透镜的中心厚度为2，1，4；第一第三透镜的外径为10，3，34；第一至三透镜的折射率与阿贝数的比例为1.57：41，1.48：68，1.57：41；第二、三曲面的间距为6~37；第四、五曲面的间距为114~125，单位mm，公差为5%。该系统可将入射光扩束2~16倍，可适应不同出射直径及发散角的激光器，提高了激光加工的效率及精度。

主权项

一种紫外激光变倍扩束系统，其特征在于，包括沿入射光线的传输方向依次共轴设置的第一透镜、第二透镜及第三透镜；所述第一透镜和第三透镜均为平凸型正透镜，所述第二透镜为凸凹型负透镜；所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面，所述第二透镜包括第三曲面和第四曲面，所述第三透镜包括第五曲面和第六曲面；所述第一至第六曲面沿入射光线的传输方向依次排布；所述第一至第六曲面的曲率半径依次为：∞，‑30mm，10mm，2.2mm，∞，‑81mm；所述第一至第三透镜的中心厚度依次为：2mm，1mm，4mm；所述第一至第三透镜的外径依次为：10mm，3mm，34mm；所述第一至第三透镜的折射率与阿贝数的比例依次为：1.57：41，1.48：68，1.57：41；所述第二曲面与第三曲面在光轴上的间距为6~37mm；所述第四曲面与第五曲面在光轴上的间距为114~125mm。各所述曲率半径、中心厚度、外径、折射率与阿贝数的比例以及各所述间距的公差范围均为5%。