[发明专利]环状结构及其相关微扫瞄镜无效
申请号: | 201210248765.8 | 申请日: | 2012-07-18 |
公开(公告)号: | CN103376547A | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | 李柏勋;陈明发 | 申请(专利权)人: | 探微科技股份有限公司 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆勍 |
地址: | 中国台湾桃园县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明揭露一种微扫瞄镜,包含一基板、一环状结构及一镜面结构。该基板具有一中空区域与一第一转轴。该环状结构设置于该基板的该中空区域内,且包覆该镜面结构。该镜面结构具有一第二转轴,该第二转轴连接于该环状结构。该环状结构包含至少一第一边、至少一第二边及一第一梳状电极。该第一边连接于该第一转轴。该第二边的一端连接于该第一边。该第二边具有一第一侧与一第二侧,该第一侧邻近该镜面结构,且该第二侧邻近该基板。该第一梳状电极设置于该第二边上。 | ||
搜索关键词: | 环状 结构 及其 相关 微扫瞄镜 | ||
【主权项】:
一种环状结构,设置于一镜面结构与一基板之间,该环状结构包含:至少一第一边;至少一第二边,该第二边的一端连接于该第一边,该第二边具有一第一侧与一第二侧,该第一侧邻近该镜面结构,且该第二侧邻近该基板;以及一第一梳状电极,该第一梳状电极设置于该第二边上。
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