[发明专利]一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法无效
| 申请号： | 201210249598.9 | 申请日： | 2012-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN102745837A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 晏乃强;徐雅玲;黄源;瞿赞;李凯华;尹云舰;邢攸美;刘志彪 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;杭州格林达化学有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04;C01B33/148;C01D3/02;C02F1/44 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 蒋亮珠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法，该方法包括以下步骤：(1)将玻璃减薄刻蚀废液中与碱金属盐混合，使玻璃减薄废液中的氟硅酸生成氟硅酸盐沉淀析出；(2)经过沉降、过滤进行固液分离；(3)将滤液通入扩散渗析装置，移除滤液中多余的碱金属离子，得到酸液；(4)对酸液进行成分补加使其达到玻璃减薄刻蚀使用要求回收利用；(5)对步骤(2)中过滤得到的氟硅酸盐沉淀与纯碱溶液反应，生成金属氟化物以及硅胶沉淀；(6)分离生成的金属氟化物以及硅胶沉淀，金属氟化物返回用于氟硅酸处理，硅胶待销。与现有技术相比，本发明可实现蚀刻废液的回收利用，减少了废液、废渣的排放，降低了环境污染风险，节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 刻蚀 废液 进行 处理 回收 利用 方法 | ||
【主权项】：
一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)将玻璃减薄刻蚀废液中与碱金属盐混合，使玻璃减薄废液中的氟硅酸生成氟硅酸盐沉淀析出，其中碱金属盐与氟硅酸的摩尔计量比为1～5∶1；(2)经过沉降、过滤进行固液分离；(3)将步骤(2)所得滤液通入扩散渗析装置，移除滤液中多余的碱金属离子，得到酸液；(4)对步骤(3)中回收的酸液进行成分补加使其达到玻璃减薄刻蚀使用要求，实现酸液的回收利用；(5)对步骤(2)中过滤得到的氟硅酸盐沉淀在80～90℃与纯碱溶液反应，pH控制在5.7～7.8，生成硅胶沉淀以及金属氟化物；(6)借助重力作用分离步骤(5)中生成的硅胶沉淀以及金属氟化物，硅胶在100～120℃进行干燥，并包装待销，金属氟化物在80～120℃进行干燥处理并返回步骤(1)用于氟硅酸处理。
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