[发明专利]大面积平面光学零件加工装置及加工方法

摘要

大面积平面光学零件加工装置及加工方法，它涉及一种平面光学零件加工装置及方法。本发明为解决现有的等离子体抛光装置成本高以及抛光方法效率低的问题。两个外电极与两个隔离板两两相对形成封闭结构，内电极位于两个外电极，两个外电极、两个隔离板和内电极之间形成两个等离子体产生腔室，所述氦气瓶、四氟化碳瓶和氧气瓶通过流量控制器与两个第一通孔连通；方法：向电极加冷却水；对流量控制器预热；通过流量控制器调节氦气和四氟化碳的气体流量；将待加工工件放置在工作台面的电极之上，使待加工工件逆时针旋转；对射频电源逐步增加功率；控制稳定的等离子体放电；关闭射频电源和阀门，取出待加工工件。本发明用于大面积平面光学零件加工。

主权项

一种大面积平面光学零件加工装置，其特征在于：所述加工装置包括射频电源(1)、接地线(2)、内电极(4)、导流板(5)、冷却管(7)、水箱(8)、流量控制器(17)、氦气瓶(10)、四氟化碳瓶(11)、氧气瓶(12)、两个外电极(3)和两个隔离板(6)，所述射频电源(1)、接地线(2)、内电极(4)、两个外电极(3)和两个隔离板(6)构成等离子体平板放电结构，两个外电极(3)对称设置，两个外电极(3)与两个隔离板(6)两两相对形成封闭结构，所述导流板(5)设置在两个外电极(3)的上部且位于两个外电极(3)之间，内电极(4)的下端穿过导流板(5)且内电极(4)位于两个外电极(3)之间，所述导流板(5)上沿长度方向加工有两个第一通孔(5‑1)，两个第一通孔(5‑1)关于内电极对称设置，所述导流板(5)上沿长度方向加工有两排第二通孔(5‑2)，每个第一通孔(5‑1)与对应的一排第二通孔(5‑2)相互连通，所述射频电源(1)与内电极(4)连接，所述两个外电极(3)通过接地线(2)接地，两个外电极(3)、两个隔离板(6)和内电极(4)之间形成两个等离子体产生腔室(18)，所述氦气瓶(10)、四氟化碳瓶(11)和氧气瓶(12)通过流量控制器(17)与两个第一通孔(5‑1)连通，所述内电极(4)上加工有第一冷却通道(4‑1)，每个外电极(3)上加工有第二冷却通道(3‑1)，第一冷却通道(4‑1)与第二冷却通道(3‑1)均通过冷却管(7)与水箱(8)连通，流量控制器(17)上设置有氦气控制阀(13)、四氟化碳控制阀(14)和氧气控制阀(15)，氦气控制阀(13)用于控制氦气的流量，四氟化碳控制阀(14)用于控制四氟化碳的流量，氧气控制阀(15)用于控制氧气的流量。