[发明专利]酸性蚀刻废液的再生回收方法及系统无效
申请号: | 201210251105.5 | 申请日: | 2012-07-19 |
公开(公告)号: | CN102732888A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 明果英;周军;刘红江;周磊;谢智宇;李晋波;黄铮铮 | 申请(专利权)人: | 湖南万容科技股份有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明 |
地址: | 410100 湖南省长*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种酸性蚀刻废液的再生回收方法及系统,用于将蚀刻废液通过电化学方法再生为再生液,该方法包括步骤:将酸性蚀刻废液导入由阳离子交换膜分隔阳极室和阴极室的电解槽的阴极室后,按照以下工艺参数实施电化学处理:阴极室:铜离子和亚铜离子的总浓度为5g/L~80g/L,氢离子浓度为0.5mol/L~6mol/L;阳极室:硫酸浓度为0.5mol/L~6mol/L。本发明提供的再生回收系统包括由一阳离子交换膜分隔的阳极室和阴极室组成的电解槽,酸性蚀刻废液循环导入阴极室。本发明可将酸性蚀刻废液再生回收的同时回收金属铜,且电解再生过程中不析出氯气,无废液排放,经济环保。 | ||
搜索关键词: | 酸性 蚀刻 废液 再生 回收 方法 系统 | ||
【主权项】:
一种酸性蚀刻废液的再生回收方法,其特征在于,包括步骤:将酸性蚀刻废液导入由阳离子交换膜分隔阳极室和阴极室的电解槽的所述阴极室后,按照以下工艺参数实施电化学处理:阴极室:铜离子和亚铜离子的总浓度为5g/L~80g/L,氢离子浓度为0.5mol/L~6mol/L;阳极室:硫酸浓度为0.5mol/L~6mol/L。
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