[发明专利]抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀图案的方法

摘要

本发明公开了抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R¹、A¹、A¹³、A¹⁴、X¹²、R²³、R²⁴、R²⁵、X²¹和Z¹⁺如说明书中限定。

主权项

1.一种抗蚀剂组合物，所述抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R¹表示氢原子或甲基；A¹表示C₁至C₆烷二基；A¹³表示任选具有一个或多个卤素原子的C₁至C₁₈二价脂族烃基；X¹²表示*-CO-O-或*-O-CO-，*表示与A¹³的连接；A¹⁴表示任选具有一个或多个卤素原子的C₁至C₁₇脂族烃基；其中R²³和R²⁴独立地表示氟原子或C₁至C₆全氟烷基；X²¹表示C₁至C₁₇二价饱和烃基，在所述二价饱和烃基中所含有的一个或多个氢原子可以被氟原子代替，并且在所述二价饱和烃基中所含有的一个或多个-CH₂-可以被-O-或-CO-代替；R²⁵表示具有环醚结构的基团；并且Z¹⁺表示有机阳离子。