[发明专利]检查用接触器和检查用夹具

摘要

本发明提供一种可以应对基板的微细化和复杂化、并在检查时提供强的按压力且在非检查时提供弱的按压力的微细的接触器和检查用夹具。一种将被检查物的多个检查点与在检查用夹具的电极体上具备的并与检查检查点间的电特性的检查装置电连接的多个电极部电连接的检查用接触器具备：两端具有开口部且前端开口部与电极部的表面抵接的导电性的筒状部件、从筒状部件的后端开口部突出并配置在筒状部件内部、且后端与检查点接触的导电性的棒状部件和将筒状部件与板状部件电连接的固定部，筒状部件具有在筒状部件的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口的第一和第二缺口部，第一或第二缺口部在棒状部件与检查点抵接并实施检查时达到收缩的极限。

主权项

一种将成为被检查对象并具有多个检查点的被检查物与检查所述检查点间的电特性的检查装置电连接的检查用夹具，其特征在于具备：具备与所述检查装置电连接的多个电极部的电极体；将所述电极部与所述检查点电连接的检查用接触器；以及保持所述检查用接触器的保持体，其中，所述检查用接触器具备：两端具有开口、且前端开口部与所述电极部的表面抵接的导电性的筒状部件；从所述筒状部件的后端开口部突出并配置在所述筒状部件的内部、且后端与所述检查点接触的导电性的棒状部件；以及将所述筒状部件与所述棒状部件电连接的固定部，所述保持体具备：具有将所述前端开口部向所述电极体引导的第一引导孔的第一板状部件；以及具有将所述棒状部件的后端向所述检查点引导的第二引导孔的第二板状部件，所述筒状部件具有：具有与所述电极部的表面接触的前端开口部并将所述棒状部件的前端部容纳在内部的上筒部；形成为与所述上筒部相同的直径并与所述上筒部连通连接、且在所述筒状部件的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口的第一缺口部；形成为与所述第一缺口部相同的直径并与所述第一缺口部连通连接的中筒部；形成为与所述中筒部相同的直径并与所述中筒部连通连接、且在所述筒状部件的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口的第二缺口部；以及形成为与所述第二缺口部相同的直径并与所述第二缺口部连通连接、且具备所述固定部的下筒部，所述第一缺口部或所述第二缺口部中的任意一个在所述棒状部件与所述检查点抵接并实施检查时达到收缩的极限。