[发明专利]光刻机工作台及其工作方法有效
| 申请号： | 201210254039.7 | 申请日： | 2012-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN103576463A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 吴飞;刘剑;张志钢;郑乐平;袁志扬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光刻机工作台，通过无线信号控制平面电机动子驱动工件台，实现无线工件台控制和运动，从而代替传统的线缆构架的工件台结构设计，减少了线缆扰动对高精密工件台六自由度运动的干扰，提高了整机运动精度，降低了控制难度，提高了稳定性；本发明提供的光刻机工作台还能够通过冷却装置，利用双工件台在曝光位工作时间长，而在测量位工作时间短的特性，将这两者之间的差作为交换窗口时间(等待位时间)，在这段时间内将工件台移动到等待位并对其进行冷却，使其恒温，在不影响该光刻机工作台工作效率的情况下，保证了工件台每个工作循环的温度稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 机工 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机工作台，其特征在于，包括平面电机、工件台、冷却装置和控制系统，所述工件台设置于所述平面电机上，所述控制系统分别与所述平面电机、工作台和冷却装置通过无线信号连接，所述平面电机带动所述工件台做长行程运动，所述工件台在所述平面电机上做六自由度运动，所述冷却装置设置于所述工件台内部，所述冷却装置用于给工件台提供冷却剂以保证其温度的稳定性。
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