[发明专利]一种用于薄膜杨氏模量测量的系统无效
| 申请号： | 201210255907.3 | 申请日： | 2012-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN102768184A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 丹特·多伦雷;杨斐;陈琨;路子沫;李艳宁;傅星;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 温国林 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于薄膜杨氏模量测量的系统，包括：脉冲激光器，所述脉冲激光器发射脉冲激光经第一扩束镜准直扩束后，被3:7分光镜分成7/10脉冲激光和3/10脉冲激光，所述7/10脉冲激光经柱面聚焦透镜聚焦在被测样品的表面，激发产生声表面波信号；所述声表面波信号经过第一检测通道和/或第二检测通道转换为电信号，并通过示波器显示后被传输至计算机进行处理。该系统不仅拥有压电激光声表面波检测技术信号幅度大、在扰动大的测试环境中适用性强等优点，也继承了差分共焦激光声表面波检测技术快速、准确、非接触测量及信噪比高等优势，适用性更强，适用范围更广。同时，基于差分共焦激光声表面波检测技术高测量带宽的优点，大大提高了测量分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 薄膜 杨氏模量 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种用于薄膜杨氏模量测量的系统，包括：脉冲激光器（1），所述脉冲激光器（1）发射脉冲激光经第一扩束镜（2）准直扩束后，被3:7分光镜（3）分成7/10脉冲激光和3/10脉冲激光，所述7/10脉冲激光经柱面聚焦透镜（4）聚焦在被测样品（5）的表面，激发产生声表面波信号；其特征在于，所述声表面波信号经过第一检测通道和/或第二检测通道转换为电信号，并通过示波器（27）显示后被传输至计算机（28）进行处理。
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