[发明专利]晶圆清洗设备

摘要

本发明公开了一种晶圆清洗设备。所述晶圆清洗设备包括：机架；晶圆清洗装置，所述晶圆清洗装置设在所述机架上；晶圆刷洗装置，所述晶圆刷洗装置设在所述机架上且位于所述晶圆清洗装置的下游侧；晶圆干燥装置，所述晶圆干燥装置设在所述机架上且位于所述晶圆刷洗装置的下游侧；和机械手，所述机械手可移动地设在所述机架上用于竖直地夹持晶圆和搬运晶圆。根据本发明实施例的晶圆清洗设备具有清洗效果好等优点。

主权项

一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括：机架；晶圆清洗装置，所述晶圆清洗装置设在所述机架上，所述晶圆清洗装置包括具有第二容纳腔的第二本体、设在所述第二容纳腔内的第二晶圆支撑机构和设在所述第二本体上的晶圆清洗机构，所述第二容纳腔的底壁上设有沿上下方向贯通所述第二容纳腔的底壁的第二槽口用于通过晶圆；晶圆刷洗装置，所述晶圆刷洗装置设在所述机架上且位于所述晶圆清洗装置的下游侧，所述晶圆刷洗装置包括具有第三容纳腔的第三本体以及设在所述第三容纳腔内的第三晶圆支撑机构和晶圆刷洗机构，所述第三容纳腔的底壁上设有沿上下方向贯通所述第三容纳腔的底壁的第三槽口用于通过晶圆；晶圆干燥装置，所述晶圆干燥装置设在所述机架上且位于所述晶圆刷洗装置的下游侧，所述晶圆干燥装置包括具有第四容纳腔的第四本体以及设在所述第四容纳腔内的第四晶圆支撑机构和晶圆干燥机构，所述第四容纳腔的底壁上设有沿上下方向贯通所述第四容纳腔的底壁的第四槽口用于通过晶圆；和机械手，所述机械手可移动地设在所述机架上用于竖直地夹持晶圆和搬运晶圆。