[发明专利]化学机械研磨设备

摘要

化学机械研磨设备包括：布置在机械臂保持部分上的反向传感器安装孔、布置在反向传感器安装孔内的机械臂传感器、以及布置在机械臂部分上的检测对象。由于机械臂部分相对于机械臂保持部分的旋转，当机械臂部分上设置的检测对象所形成的扇形的开口部分对应于反向传感器安装孔位置处的机械臂传感器时，安装孔处的机械臂传感器感测到机械臂，从而机械臂传感器发出复位通知信号；而且，处理单元在从机械臂传感器接收到复位通知信号之后才启动对待处理晶圆的化学研磨处理。所以，该改进设计解决了原有机台设计的一个缺陷：当传感器失效时，如果机械臂不在位置机台也不会停止研磨。只有当传感器工作正常而且机械臂位置正确时候机台才可以开始研磨处理。

主权项

一种化学机械研磨设备，其特征在于包括：可旋转的机械臂部分、不可旋转的机械臂保持部分、布置在机械臂保持部分上的反向传感器安装孔、布置在反向传感器安装孔内的机械臂传感器、布置在机械臂部分上的检测对象、以及处理单元；其中，反向传感器安装孔与对应于机械臂部分的复位位置相对；其中，机械臂传感器用于在开始进行化学机械研磨处理之前在感测到机械臂复位并发出表示机械臂部分复位的复位通知信号，并且，机械臂传感器在感测到机械臂部分未复位时不发出任何信号；其中，所述检测对象覆盖了机械臂保持部分的截面的超过180度的扇形部分；并且，一方面，由于可旋转的机械臂部分相对于不可旋转的机械臂保持部分的旋转，当机械臂部分上设置的检测对象所形成的扇形的开口部分未对应于反向传感器安装孔位置处的机械臂传感器时，传感器安装孔处的机械臂传感器感测不到机械臂部分，由此机械臂传感器不发出任何信号；另一方面，由于可旋转的机械臂部分相对于不可旋转的机械臂保持部分的旋转，当机械臂部分上设置的检测对象所形成的扇形的开口部分对应于反向传感器安装孔位置处的机械臂传感器时，传感器安装孔处的机械臂传感器感测到机械臂部分，从而机械臂传感器发出复位通知信号；而且，化学研磨设备的处理单元在从机械臂传感器接收到复位通知信号之后才启动对待处理晶圆的化学研磨处理。