[发明专利]多晶硅沉积装置有效
| 申请号： | 201210260881.1 | 申请日： | 2012-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN103482629A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 朴钟薰;金昇铉;李旭基;李昶徕;姜承吾;朴奎东;张今相 | 申请（专利权）人： | 半材料株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及的多晶硅沉积装置，其特征在于，包括：反应室；N个硅芯棒，其配置在反应室内部，并具有通过电流通电的一对硅棒，并被通电的电流加热，且通过工艺气体的反应而沉积多晶硅；夹套单元，形成有M个收容孔，该收容孔收容具有一对硅棒的N个硅芯棒，工艺气体被供给至该收容孔并进行反应，而且，所述夹套单元冷却被收容于M个收容孔的硅芯棒的一对硅棒。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅沉积装置，其特征在于，包括：反应室；N个硅芯棒，配置在所述反应室内部，具有通过电流通电的一对硅棒，并被通电的电流加热，且通过工艺气体的反应而沉积多晶硅；夹套单元，形成有M个收容孔，该收容孔收容具有一对所述硅棒的N个所述硅芯棒，工艺气体被供给至该收容孔并进行反应，而且，所述夹套单元冷却被收容于M个所述收容孔的所述硅芯棒的一对所述硅棒。
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